＜ケミマテ’２３＞

　【大阪】グンゼは、半導体洗浄工程用フィルター補強材「フッ素樹脂製ネット」の売上高を２０２７年度に現状比１・５倍に引き上げる。１００％パーフルオロアルコキシアルカン（ＰＦＡ）の極細糸を平織で製織したもの。中長期的な半導体需要の伸びを追い風とするほか、薄肉化を追求して半導体の微細化によるニーズにも応えていく戦略だ。さらに１０月２３日～１１月２７日、オンラインで開催する「ケミカルマテリアルＪａｐａｎ２０２３」（化学工業日報社主催）に出展し、同工程以外の用途開拓も狙う。環境・エネルギー分野などでの展開も模索する構えだ。

　フッ素樹脂製ネットは、マイナスの帯電が強いＰＦＡをエンジニアリングプラスチック事業で培ってきたフッ素樹脂加工技術を駆使して紡糸。アパレル事業が保有する織りの技術と組み合わせて１９９０年ごろに開発した。

　主用途は、半導体洗浄工程で純水や薬剤などに含まれる異物を除去するフィルターの補強材。ハウジング内でろ過機能を持つポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）製多孔質膜をプリーツ織りした同ネットで挟むことにより、同膜の破損を防ぐ。ＰＦＡが有する低溶出性、耐薬品性が生かされており、高機能領域の同フィルターでは高いシェアを握っている。

　半導体の微細化でよりクリーン度が求められることなどを想定。最細で直径３５マイクロメートルの糸を使用した同ネットをすでに実用化している。さらには、同２０マイクロメートルの糸も開発している。

　需要増加を見据え、生産体制も強化。エンプラ事業の基幹工場である江南工場（愛知県江南市）では新棟が２０２５年５月に操業を開始する予定で、同ネットも増強される見込みだ。

　同社では、同ネットはさまざまな膜の補強に使えるとみており、半導体洗浄工程以外への応用も視野に入れている。新規用途探索を目的にケミカルマテリアルＪａｐａｎに出展。売上高１・５倍からの上積みも視野に入れている。環境・エネルギー分野などでの活用も想定、カーボンニュートラルなどのニーズにも応えたい考えだ。