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【連載】半導体活況に沸くレジスト

半導体活況に沸くレジスト（６）　ｉ／ｇ線レジストにも光
2021年2月17日
　ｇ～ｉ線レジストはコモディティ化したが、高機能化するＭＥＭＳ（微小電気機械システム）デバイスなどでニーズが広がっている。また永久レジストなどの応用品や、ＴＳＶ（シリコン貫通電極）やバンプ形成などの…

半導体活況に沸くレジスト（５）厚膜ＫｒＦに参入相次ぐ
2021年2月16日
　１９９０年代から半導体製造に多用されてきたＫｒＦ（フッ化クリプトン）レジスト。現在も５００ナノメートル～１マイクロメートル程度のパターンはＫｒＦが担い、先端品でも半導体のメタル配線を形成するバック…

半導体活況に沸くレジスト（４）ＡｒＦ・多層レジスト堅調
2021年2月10日
　「微細化」は、前工程プロセス全体の微細化の進行を意味する。各層の微細化ステージが一段ずつ上がり、今までＡｒＦ（フッ化アルゴン）工程が使われていた層がＡｒＦ液浸に、ＫｒＦ（フッ化クリプトン）工程がＡ…

半導体活況に沸くレジスト（３）次世代装置で材料高度化
2021年2月9日
　ＥＵＶ光は非常に吸収・減衰されやすく、光源の扱いも難しい。光量と低欠陥の両立が求められるなか、ＥＵＶ露光装置メーカーの蘭ＡＳＭＬは、２０２２年後半にさらに高性能な次世代ＥＵＶ装置を上市する計画だ。…

半導体活況に沸くレジスト（２）市場性高いＥＵＶに集中
2021年2月8日
　コロナ禍においても安定成長を続ける半導体市場。５Ｇ（第５世代通信）やデジタルトランスフォーメーション（ＤＸ）、テレワークなどデジタル社会全体を半導体技術が支えている。なかでも注目を集めるのがＥＵＶ…

半導体活況に沸くレジスト（１）　最先端から汎用まで、フロンティアはシングルナノ領域
2021年2月3日
　世界のフォトレジスト市場は約１８００億円。なかでも先端プロセスでのレジスト選定はコンペで行われ、メーカー各社がしのぎを削っている。フォトマスク数からみると最先端のシングルナノメートルプロセスは全体…

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