堀場製作所グループは、ラボにおける研究開発からマスフローコントローラー（ＭＦＣ）や薬液濃度モニターといったプロセス制御・モニタリング機器で、長年にわたり半導体製造プロセスの進化を支えてきた。最新の中長期経営計画「ＭＬＭＡＰ２０２８」は全社横断での技術融合を進め、材料分析、プロセスモニタリング、ファシリティ計測までを一気通貫で支える体制を築き、次世代の製造現場に新たな付加価値を提供している。

　こうした横展開の象徴が、全自動薄膜検査装置「Ｘｔｒｏｌｏｇｙ」だ。また、プロセスモニタリング領域でも、レーザーガス分析計「ＬＧ―１００」などの新製品を開発し、ラインアップを拡充している。

　生産・技術基盤の拡充も進む。韓国ではウエハ検査装置を手がけるＥｔａＭａｘ社を買収。化合物半導体の欠陥分析に強みを持つ同社と、堀場の分光技術を融合し、歩留まり改善や品質保証に寄与するソリューション提案力強化を目指す。

　堀場エステックの主力製品のＭＦＣでは、旺盛な半導体投資に対応し、マレーシアに新工場を建設中（２０２６年稼働予定）。国内でも京都府福知山市に国内最大規模の新工場を設け、生産能力を現状の最大３倍に引き上げる。

　同社のＭＦＣは、世界初の接ガス部オールメタルや高精度な圧力式「ＣＲＩＴＥＲＩＯＮ（クライテリオン）シリーズ」など、半導体製造装置・流体制御機器分野で常に技術革新を先導してきた。高精度・高再現性の制御技術に加え、国家計量標準機関である国立標準技術研究所（ＮＩＳＴ）とトレーサビリティの取れた流量標準器を社内に備えており、グローバルで支持を集めている。

　ラボ向けでは、新製品の粒子径・形状解析装置「Ｐａｒｔｉｃａ（パーティカ）」を発売。数分間で粒子径分布と形状情報を同時に解析可能であり、化学機械研磨（ＣＭＰ）スラリー研磨材など、ナノ粒子・粗大粒子を高感度で測定することで、開発・品質管理に貢献する。