エア・ウォーター（ＡＷ）は、グループの技術・製品・サービスを結集し、ワンストップで半導体工場にトータルソリューションを提供することができる。この強みを生かし、半導体ビジネスを拡大させていく。

　シリコンウエハー上に薄膜を形成するために使用される成膜装置に各種化学品を連続して供給する装置も提供している。手がけているのはグループのエア・ウォーター・メカトロニクス（神奈川県平塚市）で、同社は輸入代理店として独メルクグループが製造する「ケムガード」を日本の顧客に販売している。供給する化学品の種類に応じて装置を取り揃えており、品揃えは豊富。技術サポートや定期点検なども行っている。

　とくに回路線幅が数ナノメートルと微細な最先端の半導体を作る際、供給装置は高純度を維持したまま化学品を成膜装置に送り出し続けなければならないが、ケムガードはこの要求に応えられる。バルブや配管などの部材に高品質な材質のものを用いている。とくにバルブの開閉方式にこだわり、駆動範囲を可能な限り小さくすることで異物の発生を防いでいる。

　連続供給に関しては装置内の上段に成膜装置に化学品を供給するための容器「プロセスタンク」、下段にプロセスタンクに送る容器「バルクタンク」を設けることで実現。超音波を活用した非接触型センサーを搭載しており、高価な化学品を完全に使い切れる。このほか、装置は縦長のため、設置面積が小さくてすむという利点も備える。

　こうした特徴が評価され、ケムガードは北米・アジアを中心に全世界で１万台以上採用。エア・ウォーター・メカトロニクスは日本で累計５００台超の販売実績を誇る。

　日本でも半導体関連への投資が活発に行われている。エア・ウォーター・メカトロニクスはＡＷやＡＷの他のグループ会社と連携しながら需要を獲得し、ケムガードを拡販していく。