AGCケミカルズテクニカルセンターの事務所
昨年、新竹に開設したAGCケミカルズテクニカルセンターでは、電子顕微鏡や試験分析装置の稼働とローカルスタッフの増員により技術サービスを迅速に提供できる体制を整えた。開発のスピード化が「現地事業の発展の必須条件」(AGCエレクトロニクス台湾の岩橋康臣董事・総経理)という認識のもと、近隣の同社CMP(化学機械研磨)スラリーのR&D拠点との機能共有によりサービスを提供していく事例も増えてきた。
AGCの台湾における半導体関連事業は、販売拠点となるAGCエレクトロニクス台湾を軸に展開する。AGCエレクトロニクス台湾では、主力製品となるセリア系CMPスラリーを中心にモールド離型フィルムや半導体パッケージ用ガラス基板、半導体材料用樹脂製品など、半導体に関連する各種製品を展開する。
AGCエレクトロニクス台湾では、23年にCMPスラリーのR&D拠点、昨年にはAGCケミカルズテクニカルセンターを開設した。両拠点と日本の技術機能を結び「現地の開発スピードに追随する」(岩橋董事・総経理)。
CMPプロセスは、これまで前工程でのウエハー表面の平坦化が中心であった。近年開発が進む複数の半導体IC(集積回路)チップを組み合わせる先端後工程では、実装面に厳格な平坦化が求められるため、CMPプロセスが採用されはじめており、CMPスラリーの重要度も増す。
同社では、セリア系CMPスラリーに加え、同スラリー専用の洗浄液を展開している。AGCエレクトロニクス台湾では、両品を組み合わせることで、研磨性能の向上に取り組んでいる。今後は、セリア系CMPスラリー事業のソリューションとして発展させる考えだ。